日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀CS-900

總覽

下一代濕法HORIBA通過控制化學(xué)藥品濃度來提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。

為了在半導(dǎo)體制造過程中遵守嚴(yán)格的化學(xué)濃度控制，我們實(shí)現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能，例如穩(wěn)定的測(cè)量精度，考慮到工作安全性的*管道固定結(jié)構(gòu)以及緊湊的設(shè)計(jì)。

特征

實(shí)現(xiàn)*的非接觸式和高穩(wěn)定性

外部直接連接到PFA管道的*傳感器結(jié)構(gòu)消除了污染的風(fēng)險(xiǎn)。此外，它消除了安裝傳感器時(shí)的管道工作需求，并消除了化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險(xiǎn)。此外，通過更新傳感器的光學(xué)系統(tǒng)，我們實(shí)現(xiàn)了小型化，同時(shí)保持了與常規(guī)產(chǎn)品（CS-600F ^{* 1}）相同的可重復(fù)性和穩(wěn)定性。

高質(zhì)量和穩(wěn)定的測(cè)量

• Contami風(fēng)險(xiǎn)為“零"

• 重現(xiàn)性和穩(wěn)定性相當(dāng)于傳統(tǒng)產(chǎn)品CS-600F ^{* 1}

• 糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數(shù)變化

• 采用HORIBA獨(dú)chuang的算法來糾正氣泡的影響

抑制振動(dòng)效果

• 采用HORIBA獨(dú)chuang的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，可防止管道固定和未對(duì)準(zhǔn)

節(jié)省空間

• 將光源和光譜儀集成到電池單元中

• 顯示器使用面板安裝類型（9.6厘米x 9.6厘米）

延長光源壽命

• 采用LED燈，使用壽命更長（5年保修）

改善工作安全

• 半年一次的BG校正周期

• 由于安裝傳感器時(shí)無需安裝管道，因此降低了發(fā)生化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險(xiǎn)。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀。

由于不使用光纖的光學(xué)設(shè)計(jì)以及放大器和傳感器的小型化，增加了安裝布局的靈活性

實(shí)現(xiàn)直接和穩(wěn)定的化學(xué)物質(zhì)測(cè)量（20°C至80°C）

■穩(wěn)定性

測(cè)量條件
測(cè)量周期：每3秒測(cè)量時(shí)間：1小時(shí)
移動(dòng)平均值：16次溫度：室溫管徑：3/4英寸
樣品濃度（在測(cè)量開始時(shí)）
NH ₃：0.95％H ₂ O ₂：5.15％H ₂ O ：93.9％

測(cè)量結(jié)果作為
樣品（實(shí)際溶液）的1小時(shí)的測(cè)量結(jié)果，顯示出良好的穩(wěn)定性。

日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀CS-900

規(guī)范